特許
J-GLOBAL ID:200903018349045747
動的回折素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐野 静夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-021191
公開番号(公開出願番号):特開2000-221313
出願日: 1999年01月29日
公開日(公表日): 2000年08月11日
要約:
【要約】【課題】 電磁波の回折方向を自由に設定することが可能で、回折次数や回折角も大きく変化させることが可能な動的回折素子を提供する。【解決手段】 平らな反射面を有するミラー素片を2次元に配列してミラーを構成し、反射面に対して垂直方向にミラー素片を駆動する駆動部を各ミラー素片に備える。ミラー素片の駆動によってミラーの反射面に凹凸を形成して、反射電磁波に回折を生じさせる。駆動部にはPZTを用いる。駆動部として、ミラー素片との間に閉じられた空間を形成する固定部材と、その空間に封入された液体と、この液体を加熱して気化させるヒータを備え、液体の気化による空間の体積変化によってミラー素片を駆動する構成もある。
請求項(抜粋):
平らな反射面を有する多数のミラー素片より成る平面のミラーと、前記ミラー素片の各々に対して設けられ前記ミラー素片を反射面に垂直な方向に駆動する駆動部と、前記駆動部を制御して反射面に垂直な方向の前記ミラー素片の各々の位置を設定する制御部とを備え、前記ミラーの反射面に凹凸を形成して前記ミラーによって反射する電磁波を回折させるとともに、前記ミラーの反射面の凹凸を変化させることにより、電磁波の回折条件を変化させることを特徴とする動的回折素子。
IPC (3件):
G02B 5/18
, G02B 5/08
, G02B 26/08
FI (3件):
G02B 5/18
, G02B 5/08 Z
, G02B 26/08 E
Fターム (17件):
2H041AA12
, 2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ01
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H042DA20
, 2H042DB00
, 2H042DD04
, 2H042DD12
, 2H042DE00
, 2H049AA07
, 2H049AA08
, 2H049AA63
, 2H049AA64
, 2H049AA65
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