特許
J-GLOBAL ID:200903018353849974
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-045676
公開番号(公開出願番号):特開2007-225802
出願日: 2006年02月22日
公開日(公表日): 2007年09月06日
要約:
【課題】 アルカリ現像性が良好であり、かつ、その硬化物が優れた柔軟性及び優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサ用の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)、光ラジカル重合開始剤(D)及び光酸発生剤(E)を含有するアルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)であり、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)が、一般式(1)で表される加水分解性アルコキシ基を有するシラン化合物(c1)の1種以上の縮合物(C1)であることが好ましい。 R1mSi(OR2)4-m (1)式中、R1は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜18の芳香族炭化水素基であり、R2は炭素数1〜4のアルキル基であり、mは0〜2の整数である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)、光ラジカル重合開始剤(D)及び光酸発生剤(E)を含有するアルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)。
IPC (3件):
G03F 7/075
, G03F 7/027
, G02F 1/133
FI (3件):
G03F7/075 501
, G03F7/027 502
, G02F1/1339 500
Fターム (22件):
2H025AA03
, 2H025AA18
, 2H025AB14
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BD20
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025CB33
, 2H025CB41
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H089MA03X
, 2H089NA14
, 2H089NA22
, 2H089PA06
, 2H089QA14
, 2H089QA16
, 2H089TA01
引用特許:
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