特許
J-GLOBAL ID：200903018354351120
異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109215
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281130
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 異物の粒径を正確に推定できる異物検査装置を得る。【構成】 各々のへたり領域が重ならないように選択された波長λ1 ,波長λ2を有する第1,第2のレーザ1,2からのレーザ光をハーフミラー3で同一光軸上に重ねてウエハ12上に照射し、発生する散乱光を波長分岐型ビームスプリッター5を通して波長ごとに分けて検出し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が1対1対応の領域に入っている場合は波長λ1 の散乱光により異物の粒径を推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が1対多領域に入っている場合は、1対1対応を保っている波長λ2 の散乱光より異物径を推定する。【効果】 異物の粒径を正確に推定することができ、推定精度を向上できる。
請求項（抜粋）：
複数の波長の異なるレーザ光を、同一光軸上で検査領域に照射する照射手段と、検査領域中の異物の散乱光強度を、照射レーザ光の波長毎に分離して測定する測定手段と、検出された複数の波長の散乱光強度から、異物の粒径を推定する演算手段とを備えたことを特徴とする異物検査装置。
IPC (3件)：
G01N 15/02
, G01B 11/08
, H01L 21/66
