6自由度ステージ機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三觜晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012994
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206574
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】複数の直動案内軸受を積み重ねて構成するシリアル構造のステージ機構では、a.所要の駆動力が大きい、b.誤差の累積が生じる、c.コストが高い等々の課題がある。【解決手段】このため本発明では、平行に配置した第1、第2の直線軌道部材2,3と、これらに沿って移動可能に装着した複数のキャリッジ4と、夫々のキャリッジを直線軌道部材に沿って移動させる駆動機構と、夫々のキャリッジに一端側を連結した複数のリンク6と、第1、第2の直線軌道部材の上方に構成し、夫々のリンクの他端側を連結して支持したステージ8とから構成し、上記各リンクとステージとは、球面軸受部を構成した3自由度対偶の連結部材7を介して連結すると共に、各キャリッジとリンクとは、直線軌道部材と平行な軸の回りに回転可能に構成した2自由度対偶の連結部材5を介して連結する構成とした6自由度ステージ機構を提案する。

請求項（抜粋）：

平行に配置した第1、第2の直線軌道部材と、この第1、第2の直線軌道部材に沿って移動可能に装着した複数のキャリッジと、夫々のキャリッジを直線軌道部材に沿って移動させる駆動機構と、夫々のキャリッジに一端側を連結した複数のリンクと、第1、第2の直線軌道部材の上方に構成し、夫々のリンクの他端側を連結して支持したステージとから構成し、キャリッジは、第1、第2の直線軌道部材の双方に設けた第1、第2のキャリッジと、第1、第2の直線軌道部材の少なくとも一方側に設けた第3のキャリッジと、第1、第2の直線軌道部材の一方側に設けた第4のキャリッジとから構成し、第1、第2のキャリッジには等長の第1、第2のリンクの夫々の一端側を連結すると共に、第1、第2のリンクの他端側を相互に軸着して、第1、第2の直線軌道部材の上方に位置するステージの各辺側に連結し、第3のキャリッジには上記リンクと等長で、一方側と同方向の第3のリンクの一端側を連結すると共に、その他端側は、上記第1、第2のリンク連結位置から水平方向において第3のキャリッジ側に離れたステージの辺側に連結し、第4のキャリッジには第4のリンクの一端側を連結すると共に、その他端側は、ステージの各辺間の中間部に連結し、上記各リンクとステージとは、球面軸受部を構成した3自由度対偶の連結部材を介して連結すると共に、各キャリッジとリンクとは、直線軌道部材と平行な軸の回りに回転可能に構成した2自由度対偶の連結部材を介して連結する構成としたことを特徴とする6自由度ステージ機構

IPC (6件)：

G12B 5/00 , A63G 31/02 , B23Q 1/25 , F16M 11/12 , F16M 11/42 , A61H 1/00 311

FI (6件)：

G12B 5/00 T , A63G 31/02 , F16M 11/12 Z , F16M 11/42 , A61H 1/00 311 A , B23Q 1/14 C

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