特許
J-GLOBAL ID：200903018355647619
コンデンサマイクロホンおよびその製造方法および音声入力装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-277213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-095093
出願日： 2000年09月12日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 ダイヤフラムの内部応力を適正に調整し、かつ、ダイヤフラム膜厚を高精度化することにより、特性の優れたコンデンサマイクロホンを提供する。【解決手段】 (100)面方位の単結晶シリコン基板101の裏面に所定深さの凹部を形成する工程と、該シリコン基板の表面にバックプレートに対応したドープマスクを形成する工程と、該シリコン基板の表面のシリコンが露出している部分に選択的に高濃度にホウ素をドーピングする工程と、前記凹部の少なくとも底面に高濃度にホウ素をドーピングする工程と、該シリコン基板の表面側からドライエッチングおよびアルカリ液によるエッチングを行う工程とを有する。
請求項（抜粋）：
単結晶シリコン基板にコンデンサを形成するように形成された一対の電極を有し、一方の電極は他方の電極に対して可動状態にあるダイヤフラムであり、前記他方の電極は複数個の貫通穴が形成されたバックプレートであるコンデンサマイクロホンにおいて、前記ダイヤフラムおよびバックプレートは前記単結晶シリコン基板の一部からなり、かつホウ素がドーピングされていることを特徴とするコンデンサマイクロホン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H04R 19/04
, H04R 31/00 C
