特許

J-GLOBAL ID：200903018364300206

硬質炭素膜被覆部材の製造方法

発明者： 渡辺 俊哉 ,  山本 和弘 ,  古賀 義紀 ,  田中 章浩 ,  山下 信樹
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-188637
公開番号（公開出願番号）：特開2003-003262
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 立体形状、複雑形状の処理部材に対する密着性、膜の特性(硬さ、摩擦特性)、成膜速度を向上した硬質炭素膜被覆部材の製造方法を提供する。【解決手段】 炭化水素系ガスプラズマ中に曝された処理部材に対し、負の直流電圧を印加すると同時に、パルス状の負の電圧を印加することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

炭化水素系ガスプラズマ中に曝された処理部材に対し、負の直流電圧を印加すると同時に、パルス状の負の電圧を印加することを特徴とする硬質炭素膜被覆部材の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/48

FI (3件)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/48 Z

Fターム (14件)：

4K029AA02 ,  4K029BA34 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA10 ,  4K029CA13 ,  4K029EA09 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA17 ,  4K030KA20 ,  4K030LA23