特許
J-GLOBAL ID：200903018366421248

透明な構造における三次元の欠陥位置を検出するための技術

発明者：
ヘンリイ,フランソア・ジェイ

ヘンリイ,フランソア・ジェイ について

, 
ブライアン,マイケル・エイ

ブライアン,マイケル・エイ について


出願人/特許権者：
フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド

フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 山川 政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-514441
公開番号（公開出願番号）：特表2001-519890
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 2001年10月23日
要約：
【要約】起こりそうないくつかの形態の欠陥、すなわち表面上の粒子、表面中のかき傷、バルク材(127)中の欠陥等の異常(119、135、137、139、143)を検出するための方法(500)である。この検査方法は2種類の照明を必要とし、これらの照明は互いに別々に用いることもできれば、同時に用いこともできる。これら2種類の照明は、欠陥監視ツールが検査軸沿いに欠陥の形態と欠陥の位置を識別することが可能なだけの十分な差違をもって異常を強調表示する。これらの照明方法は、プレート(102)が光パイプとして用いられる直接内部照明(114)と、外部照明(117)である。直接内部照明では、線光源として配列されたフレア状端部を有する光ファイバフィードがプレート(102)のエッジ(123)に連接される。外部照明では、光源(117)は鋭角、好ましくはかすめ角でいずれかの表面(121)に指向される。照明された表面上の塵埃粒子のような異常は、表面上のそれらの粒子は内部照明による弱いエバネッセント波結合のみによって他とは異なる仕方で光を散乱させるので、直接内部照明によるよりもはるかに効率的に外部前面照明によって光を散乱させる。
請求項（抜粋）：
透明な平面状媒質の第1の表面、第2の表面、及び媒質中の欠陥を光学像エリア欠陥監視ツールにより検出する方法において、 平面状媒質と実質的に直交する検査軸に対してある角度で平面状媒質を照明して、外面光学異常及び内部光学異常を強調表示する照明ステップと、 平面状媒質の中心から離れた第1の垂直方向位置にある異常の第1の画像を平面状媒質の第1の側にある第1の焦点外れ位置で取り込み、その第1の画像を2次元位置における第1の事象として認識する取り込みステップと、 平面状媒質の中心から離れた第2の垂直方向位置にある異常の第2の画像を平面上媒質に対して第1の側と反対側である第2側にある第2の焦点外れ位置で取り込み、第2の画像を2次元位置における第2の事象として認識する取り込みステップと、 第1と第2の画像を処理して、それぞれ対応する第1の信号レベル及び第2の信号レベルを生成し、第1の信号レベルと第2の信号レベルとの差が上記検査軸沿いの異常のz軸方向位置を表す処理ステップと、を具備した方法。
IPC (2件)：
G01N 21/958 ,  G01M 11/00
FI (2件)：
G01N 21/958 ,  G01M 11/00 T
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM