特許

J-GLOBAL ID：200903018380929998

水晶振動子の製造方法

発明者： 坂口 能一
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114627
公開番号（公開出願番号）：特開2000-307367
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 本発明は移動体通信機器などの周波数基準源に必要である高精度の水晶振動子に関するもので、特に経時変化が非常に優れた表面実装型の水晶振動子の製造方法を提供するものである。【解決手段】 水晶振動子を構成するパッケージのベース101にシリコン系接着剤103を塗布した後、水晶片105を支持固定し、気密封止を行う前に、真空中で熱処理を行う。この製造方法を用いることにより、周波数の経時変化が非常に優れた水晶振動子を製造することが可能となり、従来の製造方法では実現し得なかった±0.5ppm以下といった非常に優れた経時変化特性を有する水晶振動子を実現することが可能となる。

請求項（抜粋）：

水晶振動子を構成するパッケージのベースにシリコン系接着剤を塗布し、水晶片を支持固定し、10-3Torr以下の真空中で250°C以上400°C以下、1時間以上10時間以下の熱処理を行った後、真空中で気密封止を行うことを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (5件)：

H03H 3/02 ,  H01L 23/02 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19

FI (5件)：

H03H 3/02 B ,  H01L 23/02 C ,  H03H 9/02 L ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19 A

Fターム (20件)：

5J108BB02 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE17 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108GG09 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108KK03 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02 ,  5J108MM04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 表面実装型水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-056596   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開昭61-150405
  
• 弾性表面波デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-225643   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-214916