特許

J-GLOBAL ID：200903018381091955

表面検査方法及び装置

発明者： 丸山 重信 ,  中田 俊彦 ,  野本 峰生 ,  加藤 靖
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-348383
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149163
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 透明フィルム表面に存在する凹欠陥・凸欠陥・異物の検出と弁別が可能な欠陥検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 レーザ光を被検査体表面に照射し、レーザ照射部から発生するレーザ散乱光を被検査体のレーザ照射面側に設けた複数の検出光学系で検出すると共に、フィルムを透過したレーザ光を被検査体のレーザ照射面とは反対側に設けた検出光学系で検出し、欠陥部から検出されたレーザ散乱光強度によって欠陥座標を検知した後、レーザ散乱光強度の分散値と透過光強度に基づいて欠陥種を弁別する欠陥検査方法及び装置により達成される。

請求項（抜粋）：

走行する透明材料にレーザ光を照射するステップと、前記透明材料から発生するレーザ散乱光を検出するステップと、検出された前記レーザ散乱光の強度を第1の閾値と比較して凹欠陥又は凸欠陥を弁別する欠陥弁別ステップと、前記透明材料を透過した光を検出するステップと、前記透過光の強度を第2の閾値と比較して欠陥種として異物を弁別するステップとを備えることを特徴とする表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/892 A ,  G01B 11/30 A

Fターム (47件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065CC02 ,  2F065FF17 ,  2F065FF44 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065LL15 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CB03 ,  2G051CC09 ,  2G051CC17 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  2G051EC06