特許

J-GLOBAL ID：200903018383995118

液滴吐出装置、これを用いた成膜装置、この成膜装置により製造したディスプレイ、及び液滴吐出装置を用いたインクジェットプリンタ、並びに液滴吐出方法、成膜方法

発明者： 池川 正人 ,  富樫 盛典 ,  足羽 賢治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-113945
公開番号（公開出願番号）：特開2004-314524
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】液滴の吐出方向精度を向上することができる液滴吐出装置、これを用いた成膜装置、この成膜装置により製造したディスプレイ、及び液滴吐出装置を用いたインクジェットプリンタ、並びに液滴吐出方法、成膜方法を提供する。【解決手段】基板に対して移動可能に支持されるヘッド6のノズルプレート8に設けたノズル10から液滴9aを吐出する液滴吐出装置において、ノズル10の出口部10aの周方向1箇所に突起部材20を設ける。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

ノズルプレートに設けたノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置において、 前記ノズルの出口形状を非軸対称としたことを特徴とする液滴吐出装置。

IPC (7件)：

B41J2/135 ,  B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (6件)：

B41J3/04 103N ,  B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  B41J3/04 103A

Fターム (30件)：

2C057AF29 ,  2C057AF43 ,  2C057AG03 ,  2C057AG04 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA47 ,  4D075CB08 ,  4D075DA06 ,  4D075DA13 ,  4D075EA07 ,  4D075EA33 ,  4D075EC24 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA12 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA57