特許
J-GLOBAL ID：200903018389196365
光学的検査方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304392
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142160
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 セラミック基板や焼結金属体等の被検査基板のクラック欠陥等を光学的不均一性を検出する事で検査する方法及び装置を提供する。【解決手段】 図1において、被検査基板7の裏面側を半導体レーザー光源1とシリンドリカルレンズによって照明する。そして被検査基板の裏面側から内部に浸透して被検査基板の表面側の撮像領域から放射される光を、対物レンズ4、ラインセンサ5で撮像し、次に試料移動系6で被検査基板7を順次移動させながら、ラインセンサ5の信号と試料台移動の信号から画像を形成する前処理部8を介して画像処理部9に入力された画像信号を画像処理する事で被検査基板7の光学的不均一性を検出する事でクラック欠陥を検査する。
請求項（抜粋）：
光拡散性を有する被検査基板裏面の照明領域に光を照射し、前記被検査基板の裏面から内部に浸透して表面から放射される光の内で、前記被検査基板の法線方向で前記照明領域と重ならない被検査基板表面上の撮像領域からの放射光を検出し、前記検出された光の強度変化を検出することにより被検査基板の光学的不均質を検出する光学的検査方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 F
, G01B 11/30 Z
, G01B 11/30 H
