特許

J-GLOBAL ID：200903018392595270

全固体薄膜電池、その製造方法およびその製造装置

発明者： 粟田 英章 ,  江村 勝治 ,  太田 進啓 ,  水野 修 ,  上村 卓 ,  小川 光靖 ,  吉田 健太郎 ,  生田 力三
出願人/特許権者： 財団法人地球環境産業技術研究機構 ,  住友電気工業株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 征一 ,  川嶋 正章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-231596
公開番号（公開出願番号）：特開2009-064667
出願日： 2007年09月06日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：

【課題】 内部抵抗を低減した全固体薄膜電池、その製造方法およびその製造装置を提供する。【解決手段】 正極層2を気相プロセスにより形成する工程、固体電解質層3を気相プロセスにより形成する工程、および負極層4を気相プロセスにより形成する工程を備え、真空引きの周囲雰囲気内で、基材1を一定方向に駆動しながら、それぞれの気相プロセスをそれぞれ定位置で連続して施して正負極層および固体電解質層を基材上に形成することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材上に正負極層および固体電解質層を備える全固体薄膜電池の製造方法であって、 前記正極層を気相プロセスにより形成する工程、前記固体電解質層を気相プロセスにより形成する工程、および前記負極層を気相プロセスにより形成する工程を備え、 真空引きの周囲雰囲気内で、前記基材を一定方向に駆動しながら、前記それぞれの気相プロセスをそれぞれ定位置で連続して施して前記正負極層および固体電解質層を前記基材上に形成することを特徴とする、全固体薄膜電池の製造方法。

IPC (3件)：

H01M 10/36 ,  H01M 4/58 ,  H01M 4/02

FI (5件)：

H01M10/00 117 ,  H01M10/00 107 ,  H01M10/00 102 ,  H01M4/58 101 ,  H01M4/02 106

Fターム (33件)：

5H029AJ06 ,  5H029AK05 ,  5H029AL12 ,  5H029AM12 ,  5H029BJ04 ,  5H029BJ12 ,  5H029CJ06 ,  5H029CJ07 ,  5H029CJ12 ,  5H029CJ24 ,  5H029CJ28 ,  5H029CJ30 ,  5H029DJ09 ,  5H029DJ12 ,  5H029HJ14 ,  5H029HJ15 ,  5H029HJ20 ,  5H050AA12 ,  5H050BA16 ,  5H050CA11 ,  5H050CB12 ,  5H050FA02 ,  5H050FA12 ,  5H050FA18 ,  5H050GA08 ,  5H050GA09 ,  5H050GA12 ,  5H050GA24 ,  5H050GA27 ,  5H050GA29 ,  5H050HA12 ,  5H050HA15 ,  5H050HA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

• リチウム二次電池の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-190599   出願人：三洋電機株式会社

審査官引用 (4件)

• エネルギーデバイス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-328628   出願人：松下電器産業株式会社
• リチウム電池及びリチウム二次電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-265244   出願人：三洋電機株式会社
• 電池及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-354164   出願人：松下電器産業株式会社
• リチウム電池負極およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-123279   出願人：住友電気工業株式会社