特許
J-GLOBAL ID：200903018406167765
立体形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176931
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005046
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、オクルーディングエッジの問題がなく、元の画像に対して横分解能が低下することなく、処理が容易で、インラインでの使用に耐えうる速度で、かつ焦点位置変化に対して結像倍率の変化しない立体形状測定装置を提供することを目的とする。画像処理による高速、高精度の立体形状測定装置を提供することを目的とする。【構成】 共焦点走査光学系1とその像を光電変換する光電センサ2とよりなる共焦点走査撮像系3と、共焦点走査撮像系3の焦点位置変化手段4と、共焦点走査撮像系3と焦点位置変化手段4とから得られた焦点位置の異なる複数枚の画像から、画像の濃度情報を用いて、画像の焦点位置間隔を超える精度で画像各点の合焦位置を求めることで物体の立体形状を演算する画像処理装置6とにより構成する。
請求項（抜粋）：
物体の立体形状を光学的に測定する装置において、共焦点走査光学系と共焦点走査光学系により得られる2次元光学像を光電変換する光電センサとより構成された共焦点走査撮像系と、前記共焦点走査光学系の焦点位置を変える焦点位置変化手段と、前記共焦点走査撮像系と前記焦点位置変化手段とにより得られた焦点位置の異なる複数の画像を取り込み、焦点位置の変化に対応して変化する画像各点の濃度値から、濃度値の最大値を与える焦点位置を内挿処理を用いて、取り込まれた画像の焦点位置間隔を超える精度で画像各点毎に推定し、推定した焦点位置をその点の高さとする処理を実行する画像処理装置とから構成されることを特徴とする立体形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 C
, G06F 15/62 415
