感活性エネルギー線樹脂組成物、及び、該樹脂組成物を用いてなる高分子パターンの形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-282650
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062641
出願日： 2000年08月15日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】感光性材料の感度の大幅な向上と光硬化樹脂の架橋効率の大幅な向上などを図ることのできる、感活性エネルギー線樹脂組成物の提供と高分子パターンの形成方法。【解決方法】一般式(1)(式中、R1、R2は炭素数が1から15までのアルキル基、炭素数が1から8までの少なくとも3つがフッ素置換されたアルキル基、またはアリール基を示す)で表される4、4’-イソプロピリデンビスシクロヘキサンジスルホン酸エステルからなる増殖性強酸発生剤と、活性エネルギー線によって酸を発生する酸発生剤、及び、酸触媒反応性高分子からなる感活性エネルギー線樹脂組成物、酸触媒反応性高分子がカチオン重合性化合物からなる硬化性の感活性エネルギー線樹脂組成物、これらの感活性エネルギー線樹脂組成物を用いる高分子パターンの形成方法。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)(式中、R1、R2は炭素数が1から15までのアルキル基、炭素数が1から8までの少なくとも3つがフッ素置換されたアルキル基、またはアリール基を示す)で表される4、4’-イソプロピリデンビスシクロヘキサンジスルホン酸エステルからなる増殖性強酸発生剤と、活性エネルギー線によって酸を発生する酸発生剤、及び、酸触媒反応性高分子からなることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , C08K 5/42 , C08L101/02 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , C08K 5/42 , C08L101/02 , H01L 21/30 502 R

Fターム (31件)：

2H025AB16 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BF00 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J002AA001 , 4J002BC121 , 4J002BG011 , 4J002BG051 , 4J002BG071 , 4J002BH021 , 4J002CC031 , 4J002CD051 , 4J002CD061 , 4J002CD071 , 4J002CD121 , 4J002CD141 , 4J002CD161 , 4J002EB007 , 4J002EQ037 , 4J002EV246 , 4J002EV297 , 4J002EW177 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03

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