特許

J-GLOBAL ID：200903018410477647

電子線発生装置

発明者： 白川 忠秀
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-001733
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197075
出願日： 2004年01月07日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】 電子線のビームプロファイル(断面形状)の目標形状からの変化を抑える。【解決手段】 カソード電極と、アノード電極と、カソード電極の近傍に配置され当該カソード電極から放出される電子線のビームプロファイルを規定する電界形成電極とからなる電子発生部と、該電子発生部から入射された電子線に所定の処理を施して外部に出射する電子線処理部とからなる電子線発生装置において、電子線処理部の電子線出射端における電子線強度を検出する電子線強度検出手段と、カソード電極と電界形成電極との相対位置を可変する位置可変手段と、電子線強度検出手段によって検出された電子線強度が所定の目標強度となるように位置可変手段を駆動する制御駆動手段とを具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

カソード電極と、アノード電極と、カソード電極の近傍に配置され当該カソード電極から放出される電子線のビームプロファイルを規定する電界形成電極とからなる電子発生部と、該電子発生部から入射された電子線に所定の処理を施して外部に出射する電子線処理部とからなる電子線発生装置であって、 電子線処理部の電子線出射端における電子線強度を検出する電子線強度検出手段と、 カソード電極と電界形成電極との相対位置を可変する位置可変手段と、 前記電子線強度検出手段によって検出された電子線強度が所定の目標強度となるように前記位置可変手段を駆動する制御駆動手段と を具備することを特徴とする電子線発生装置。

IPC (3件)：

H01J37/04 ,  H05H7/08 ,  H05H9/00

FI (3件)：

H01J37/04 A ,  H05H7/08 ,  H05H9/00 F

Fターム (9件)：

2G085AA03 ,  2G085BA01 ,  2G085BE03 ,  2G085BE05 ,  2G085CA02 ,  2G085CA12 ,  2G085CA26 ,  5C030AA04 ,  5C030AB06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電子銃及び電子銃の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-042879   出願人：株式会社ニコン
• 電子銃、電子源、電子線装置および電子線光軸補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-012815   出願人：株式会社日立製作所