特許

J-GLOBAL ID：200903018413462900

新規なポリマーを含有する放射線感光性組成物

発明者： アンソニー・ザンピニ ,  ピーター・トレフォナス・サード ,  ロバート・エフ・ブラックスミス ,  ジェラルド・シー・ビズバリー ,  シェリ・エル・アブラザ
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-190922
公開番号（公開出願番号）：特開平11-349760
出願日： 1998年06月01日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】 ポリマーの新規な混合物を含有するフォトレジスト組成物。この混合物は、ボリマーの少なくとも一方が、酸環境に対して不活性である基によって置換されている、ノボラック樹脂及びポリビニルフェノール樹脂からなる。【効果】フォトレジスト配合物中に使用されるとき、このフォトレジストは、アイーライン照射に露光されたとき改良された現像能力を示す。

請求項（抜粋）：

ポリビニルフェノール樹脂及びノボラック樹脂からなるポリマーの混合物であって、当該ポリマーの少なくともひとつが、酸性下で不活性基で置換されたペンダントヒドロキシ基を有し、当該混合物のポリビニルフェノール樹脂のノボラック樹脂に対する重量比が1対10から10対1であるポリマー組成物。

IPC (4件)：

C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039

FI (4件)：

C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039