特許
J-GLOBAL ID:200903018415122065
微小組み立てされた粒子フィルタ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 稔 (外7名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-523562
公開番号(公開出願番号):特表平9-511439
出願日: 1995年03月07日
公開日(公表日): 1997年11月18日
要約:
【要約】薄膜フィルタの部分(20)は、架橋部(26)により互いに接続された、複数のポートスリット(28)の壁を形成する複数の部材(22)及び(24)よりなっている。スリット(28)の幅(W)はスリット(28)を通り抜けられる最大の球状の微粒子の直径に対応し、一方スリット(28)の長さ(L)はスリット(28)を通り抜ける最短の通路である。スリットの幅(W)の寸法は精密に制御でき、約50オングストロームの小ささである。フィルタの部分(20)は高温及び苛酷な溶剤に耐えられる。
請求項(抜粋):
それを通る開口を有する第1薄膜構造、及び 予め定められた幅の細孔を生成するようにこの第1薄膜構造に対してその開口を部分的にふさぐように位置された第2薄膜構造よりなるフィルタ。
IPC (3件):
B01D 69/12
, B01D 67/00
, B01D 71/70
FI (3件):
B01D 69/12
, B01D 67/00
, B01D 71/70
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