特許

J-GLOBAL ID：200903018430345550

アルミニウム製真空チェンバーの表面安定化処理方法

発明者： 浅野 清光
出願人/特許権者： 浅野 清光 ,  株式会社野村鍍金
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336843
公開番号（公開出願番号）：特開平10-176295
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】 アルミニウム製真空チェンバーのアルミニウム表面に、安定的な清浄酸化膜を形成し、気体付着係数およびガス放出の低い真空チェンバーを得る。【解決手段】 超純水を電気分解させて発生したオゾンを超純水に溶解させた、オゾン濃度2〜10ppmのオゾン水で、アルミニウム製真空チェンバー内部を室温で洗浄することにより、有機物汚染を分解除去するとともに、気体の付着係数およびガス放出率の小さな清浄酸化膜を形成させる。この酸化層により気体の付着係数は低下し、かつガス放出は軽減される。また、使用後のオゾン水は自然分解し、排水として処理できるため、後処理の必要な化学薬品洗浄に比べて、大幅に費用軽減することが出来る。この処理技術は超高真空機器、加速器分野、半導体やセラミックを使用する分野、殺菌、消毒、脱臭脱色等にも利用できる。

請求項（抜粋）：

超純水を電気分解させて発生したオゾンを超純水に溶解させた、オゾン濃度2〜10ppmのオゾン水で、アルミニウム製真空チェンバー内部を室温で洗浄することにより、有機物汚染を分解除去するとともに、気体の付着係数およびガス放出率の小さな清浄酸化膜を形成させることを特徴とする、アルミニウム製真空チェンバーの表面安定化処理方法。

IPC (3件)：

C23G 5/00 ,  B01J 3/00 ,  B08B 3/08

FI (3件)：

C23G 5/00 ,  B01J 3/00 N ,  B08B 3/08 Z