特許
J-GLOBAL ID：200903018441874440
蛍光性単一分子を基板表面に並べる方法及び基板表面の構造欠陥を可視化する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269898
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185782
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 均一性の高い蛍光性分子の単一分子層を簡単に基板表面に並べることができる蛍光性単一分子を基板表面に並べる方法及び基板表面の構造欠陥を可視化する方法を得る。【解決手段】 蛍光性分子例えば吸着色素であるローダミンBを所定濃度となるようにメタノール溶液に溶解し、試料溶液7とした。基板5例えばシリコンウエハ上にレンズクリーニングペーパー6を載置した後、試料溶液7の100μlをレンズクリーニングペーパー6の一端に滴下した。続いて、有機溶媒が蒸発する前に、試料溶液7が基板5上を横切るようにレンズクリーニングペーパー6を引っ張った。外部から汚染物を取り込まず、溶媒や汚染物による妨害を受けずに蛍光測定や散乱光測定を行うことができる。
請求項（抜粋）：
蛍光性分子の蛍光計測を行う際に、揮発性の有機溶媒に前記蛍光性分子を所定濃度で溶解して試料溶液を調製し、蛍光計測が行われる基板上に紙片を載置し、前記基板上に載置された前記紙片上に前記試料溶液を滴下し、次いで前記有機溶媒が蒸発する前に、この滴下された試料溶液が前記基板表面を横切るように前記紙片を引っ張ることを特徴とする蛍光性単一分子を基板表面に並べる方法。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, G01N 21/64
, G01N 21/88
G01N 1/28 N
, G01N 21/64 Z
, G01N 21/88 E
, G01N 1/28 X
