特許
J-GLOBAL ID:200903018442907465

ダイアフラム式歪みセンサの配線パターン

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-312314
公開番号(公開出願番号):特開平6-160220
出願日: 1992年11月20日
公開日(公表日): 1994年06月07日
要約:
【要約】【目的】 歪みゲージ間の配線部分を容易に形成して配線部分の抵抗変化の影響を低減することができるダイアフラム式歪みセンサの配線パターンを得る。【構成】 圧縮歪み検出用の歪みゲージ14,16と引張歪み検出用歪みゲージ18,20との間の配線22,24,26,28の円周方向部分22A,24A,26A,28Aを理論上歪みが零となる半径bの位置に形成することから、配線22,24,26,28を線状に形成しても当該配線の円周方向部分22A,24A,26A,28Aには抵抗変化は生じず、半径方向部分の歪みは殆ど相殺されるので、結果的に配線部分には歪みは殆ど生じない。
請求項(抜粋):
円形ダイアフラムに生じる引張歪みと圧縮歪みとに応じて生ずる歪みゲージの抵抗値を検出するダイアフラム式歪みセンサの配線パターンであって、前記ダイアフラムの圧縮歪み発生域及びこれよりも半径方向外側の引張歪み発生域に各々配置された歪みゲージと、圧縮歪み検出用の歪みゲージと引張歪み検出用の歪みゲージとを電気的に接続すると共に前記圧縮歪み発生域と引張歪み発生域の間の歪み均衡部にその一部が配置された結線部と、を有するダイアフラム式歪みセンサの配線パターン。
IPC (3件):
G01L 9/04 101 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/18

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