特許
J-GLOBAL ID：200903018458851931
X線利用の基板検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-237077
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】基板などを傾動させずに、両面実装基板の表裏の電子部品についての各半田付け部位を適正に検査できるX線利用の基板検査装置を提供する。【構成】走査X線発生源1は管内で電子ビームを走査してターゲット面4より管外へX線ビーム6を発生させる。X線ビーム6は基板7に投射され、基板7を透過したX線ビーム6がX線検出器8で検出されて画像信号に変換される。前記X線検出器8は、ターゲット面4の中心軸cより離れた位置に前記ターゲット面4へ向けて傾斜姿勢で配置されており、これにより基板7を透過したX線ビーム6を基板7に対して斜め方向から検出する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを走査してターゲット面より発生させたX線ビームを基板へ照射し、前記基板を透過したX線ビームをX線検出器で検出してX線透過像を生成し、前記X線透過像により前記基板に実装された部品の半田付け部位を検査するようにしたX線利用の基板検査方法において、前記X線検出器を前記ターゲット面の中心軸より離れた位置に前記ターゲット面へ向けて配置することにより、基板を透過したX線ビームを基板に対して斜め方向から検出するようにしたX線利用の基板検査方法。
IPC (2件)：
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