特許

J-GLOBAL ID：200903018463725782

廃液の処理方法

発明者： 八木 康之 ,  林 太 ,  内富 康成
出願人/特許権者： 日立プラント建設株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263997
公開番号（公開出願番号）：特開2000-070938
出願日： 1998年09月01日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】 コロイド状シリカ及び金属化合物を含有する廃液、例えば、CMPスラリからシリカや金属化合物を効率よく除去でき、安定して、安価に高品質な処理水を得ることができる廃液処理方法を提供すること。【解決手段】 コロイド状シリカ及び金属化合物を含有する廃液をpH調整槽5で酸性とした後、膜分離装置6で膜分離し、その透過水をフッ素含有廃水の凝集槽1に加え、凝集沈澱剤として作用させる廃液の処理方法。

請求項（抜粋）：

コロイド状シリカ及び金属化合物を含有する廃液を酸性とした後、膜分離することを特徴とする廃液の処理方法。

IPC (4件)：

C02F 1/44 ,  C02F 1/52 ,  C02F 1/60 ,  C02F 1/64

FI (4件)：

C02F 1/44 E ,  C02F 1/52 Z ,  C02F 1/60 ,  C02F 1/64 Z

Fターム (34件)：

4D006GA02 ,  4D006KA72 ,  4D006KB13 ,  4D006KD13 ,  4D006KE12R ,  4D006KE15Q ,  4D006KE15R ,  4D006MC03 ,  4D006MC03X ,  4D006MC09 ,  4D006PB08 ,  4D006PB20 ,  4D006PB23 ,  4D006PB27 ,  4D006PC01 ,  4D038AA08 ,  4D038AB57 ,  4D038AB66 ,  4D038AB82 ,  4D038BA04 ,  4D038BB09 ,  4D038BB13 ,  4D038BB17 ,  4D038BB18 ,  4D062BA03 ,  4D062BA23 ,  4D062BB16 ,  4D062CA17 ,  4D062CA20 ,  4D062DA13 ,  4D062DC03 ,  4D062EA13 ,  4D062EA32 ,  4D062FA17