特許
J-GLOBAL ID：200903018467743505
赤外放射温度計とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
東野 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005533
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201820
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】赤外線の吸収特性がよく感度の高い赤外放射温度計を実現する。【解決手段】 高濃度に不純物がドーピングされたポリシリコン膜と、このポリシリコン膜上にこのポリシリコン膜とは異なる屈折率を有する多層膜を形成した。
請求項（抜粋）：
高濃度に不純物がドーピングされたポリシリコン膜と、このポリシリコン膜を挟んでこのポリシリコン膜とは異なる屈折率を有する少なくとも一層の膜を形成したことを特徴とする赤外放射温度計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 5/02 C
, G01J 1/02 C
