特許

J-GLOBAL ID：200903018475233907

電子線測長方法及び電子線測長装置

発明者： 太田 文人 ,  片山 俊治 ,  広瀬 幸範
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211301
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063542
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 試料上のパターンを電子線測長装置で測長する際に付着するコンタミネーションによる測長寸法誤差を排除し、真の寸法を知る。【構成】 電子線測長において、測長すべき箇所を指定回数測定し、測定結果L1 ...Ln を測定毎に記憶手段25で記憶し、測定終了後、演算手段26において真の寸法をL0 、比例定数をaとしたとき、前記測定結果L1 ...Ln がLm =a・n+L0 で表わされるとし、前記測定結果、L1 ...Ln から真の寸法L0 を算出する。

請求項（抜粋）：

電子線を集束して試料上で走査し、上記試料のパターン寸法を測長する方法において、同一箇所を複数個測定し、得られた測定値L1 ...Lnは、真の寸法L0 、比例定数をaとして、Lm =a・m+L0 で表わすことで、前記測定値L1 ...Ln から真の寸法L0 を決定することを特徴とする電子線測長方法。