特許
J-GLOBAL ID：200903018487828132
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018072
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212953
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 電極の分解掃除が不要で連続運転可能なイオン源を提供する。【構成】 プラズマ発生室1内に作動ガスGを満たし、アーク放電によりこの作動ガスGをプラズマ化させ、このプラズマよりイオンビームを引き出すイオン源において、上記プラズマ発生室1内に少なくとも2つのアーク放電用アノード電極31,32をそれぞれ独立に電位印加可能に設け、これらのアノード電極31,32に交互に一方はアーク放電電圧を他方はそれより負電圧のスパッタクリーニング電圧を切換えて印加する電圧切換部7を設けた。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生室内に作動ガスを満たし、アーク放電によりこの作動ガスをプラズマ化させ、このプラズマよりイオンビームを引き出すイオン源において、上記プラズマ発生室内に少なくとも2つのアーク放電用アノード電極をそれぞれ独立に電圧印加可能に設け、これらのアノード電極に交互に一方はアーク放電電圧を他方はそれより負電圧のスパッタクリーニング電圧を切換えて印加する電圧切換部を設けたことを特徴とするイオン源。
IPC (3件)：
H01J 37/08
, H01J 27/08
, H05H 1/34
