特許

J-GLOBAL ID：200903018504246371

振動アクチュエータ及びその調整方法

発明者： 戸部 通宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018722
公開番号（公開出願番号）：特開平9-215349
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 振動アクチュエータの切削による従来の調整方法では、比較的大きな面積を切削して等価長さを均一にすることが難しく、縦振動及び屈曲振動それぞれの振動モードの形状が変化してしまい、駆動特性が悪化する。【解決手段】 振動アクチュエータ10の弾性体11の長辺方向の端面に、弾性体11の等価長さξを増加させるねじ13d〜13fを装着することにより、縦振動モード及び屈曲振動モードそれぞれの共振周波数の差を小さくする。

請求項（抜粋）：

矩形平板状の弾性体と,前記弾性体の一方の平面に接合される電気機械変換素子と,前記弾性体の他方の平面に加圧接触される相対運動部材とを備え、前記弾性体及び前記相対運動部材との接触面を含む方向への縦振動と前記接触面に交差する方向への屈曲振動とを生じて、前記弾性体と前記相対運動部材との間に相対運動を発生する振動アクチュエータであって、前記弾性体の長辺方向の端面及び/又は側面に装着された周波数調整用部材を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。