特許
J-GLOBAL ID：200903018505879670
コレットおよびそのコレットを取り付けた移送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-244361
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092703
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 ICを水平保持でき、かつ移動時にIC保持位置のずれを生じないコレットおよびそのコレットを取り付けた移送装置を提供する。【解決手段】 駆動本体から延在するアームと、前記アームの先端に取り付けられた筒状の金属からなるコレットとを有し、前記アームを駆動させて供給ステージにある製品(IC)をコレットの下面の吸着面に真空吸着保持した後、コレットに保持している製品を処理ステージ上に移送する移送装置であって、前記コレットの吸着面には耐磨耗性の微粒子を含む被膜が形成されている。前記被膜はダイヤモンド粒子を電着させた電着層となっている。
請求項（抜粋）：
製品を真空吸着保持する吸着面を有する筒形の剛体からなるコレットであって、前記コレットの吸着面には摩擦係数が大きい被膜が形成されていることを特徴とするコレット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 B
, B25J 15/06 A
