特許
J-GLOBAL ID：200903018506293792
制御混合及び濃度フィ-ドバックと調節を伴う化学物質調製装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191180
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117086
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：
【要約】【課題】 高純度化学混合物を最少の高純度化学物質貯蔵量で調製する装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明は、高純度化学物質(16、18)を混和して高純度化学混合物(68)を調製する装置及び方法であって、前記高純度化学物質の混和(12、14)と使用のための貯蔵(76)の間に前記化学混合物の循環、純化(56)及び検知(58)を伴う装置及び方法、特に半導体材料処理現場、例えばシリコンウェハーを処理する半導体製造設備のための高純度化学混合物を調製する装置及び方法である。
請求項（抜粋）：
高純度化学物質を混和して高純度化学混合物を調製する装置であって、混和容器と化学混合物貯蔵容器との間の前記化学混合物の循環、純化及び検知を伴い、a)第1の高純度化学物質を受け取るための第1の入口と、第2の高純度化学物質を受け取るための第2の入口と、前記第1と第2の高純度化学物質の高純度化学混合物を分配するための第1の出口とを持つ混和容器、b)前記混和容器の前記第1の入口に接続している前記第1の高純度化学物質の第1の供給源であって、この第1の供給源から前記混和容器への前記第1の高純度化学物質の導入を制御する第1の弁を持つ第1の供給源、c)前記混和容器の前記第2の入口に接続している前記第2の高純度化学物質の第2の供給源であって、この第2の供給源から前記混和容器への前記第2の高純度化学物質の導入を制御する第2の弁を持つ第2の供給源、d)前記混和容器からの前記化学混合物を受け取るための第3の入口と、前記化学混合物を再循環させるための第2の出口とを持つ化学混合物貯蔵容器、e)前記混和容器の前記第1の出口と前記化学混合物貯蔵容器の前記第3の入口に接続した輸送管路、前記混和容器から前記化学混合物貯蔵容器にこの輸送管路を通って移動する前記化学混合物の純化手段、及びこの輸送管路の化学混合物の組成の検知手段、f)前記化学混合物貯蔵容器の前記第3の出口に接続し、且つ前記混和容器と前記化学混合物の純化手段との間で前記輸送管路に接続して、前記化学混合物貯蔵容器から前記輸送管路に前記化学混合物を再循環させて、前記化学混合物が前記純化手段と前記検知手段を更に通過するようにする再循環管路であって、この再循環管路を通る前記化学混合物を再循環させるポンプ送出手段を持つ再循環管路、並びにg)前記検知手段に接続し且つ前記第1の弁と第2の弁に接続し、検知される前記高純度化学混合物の組成の代理値を検知する前記手段からの信号を、受けることができる手段を含む手段であって、検知された組成を前記高純度化学混合物の所定組成値と比較して、前記検知された組成が前記所定組成値に合わない場合は、前記第1の弁及び/又は第2の弁への信号を発生させて、これら第1の弁及び/又は第2の弁を通る前記第1の高純度化学物質及び/又は第2の高純度化学物質の流量を調節し、前記検知される組成を所定組成値に戻す自動制御手段、を含む高純度化学物質混和装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01F 15/04 A
, G05D 11/02
