特許

J-GLOBAL ID：200903018506698865

感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターン

発明者： 田村 崇 ,  林 利明
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-015529
公開番号（公開出願番号）：特開2007-199205
出願日： 2006年01月24日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】保存時の低温下又は常温下では反応を生じず、保存安定性に優れ、表面のタック性が小さく、フィルム化した際のラミネート性及び取扱い性が良好であり、保護フィルムや支持体からの剥離性に優れ、高感度で現像性にも優れ、現像後に優れた耐薬品性、表面硬度、耐熱性、誘電特性、電気絶縁性などが得られ、高精細なパターンが形成可能な感光性組成物。【解決手段】(A)バインダーと、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)軟化点及び融点の少なくともいずれかが、50〜250°Cであり、かつ溶媒に可溶である熱架橋剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターンである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)バインダーと、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)軟化点及び融点の少なくともいずれかが、50〜250°Cであり、かつ溶媒に可溶である熱架橋剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027 ,  C08F 290/14 ,  C08F 299/00

FI (6件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 511 ,  H01L21/30 502R ,  C08F290/14 ,  C08F299/00

Fターム (103件)：

2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA15 ,  2H025AA17 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC54 ,  2H025BC73 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025BD23 ,  2H025CA01 ,  2H025CA07 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CA35 ,  2H025CA39 ,  2H025CA48 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB47 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J127AA00 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB081 ,  4J127BB082 ,  4J127BB121 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC032 ,  4J127BC131 ,  4J127BC152 ,  4J127BD062 ,  4J127BD201 ,  4J127BE11X ,  4J127BE112 ,  4J127BE29Y ,  4J127BE292 ,  4J127BE31Y ,  4J127BE312 ,  4J127BE34X ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE342 ,  4J127BE41Y ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG042 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG102 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG16X ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG162 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127DA52 ,  4J127DA61 ,  4J127EA13 ,  4J127FA16 ,  4J127FA17 ,  4J127FA18 ,  4J127FA37 ,  4J127FA38

引用特許：

出願人引用 (9件)

• 特開昭61-243869号公報
  
• 特開平02-097502号公報
  
• 固形エポキシ樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-053595   出願人：東ソー株式会社
• 特開昭56-155222号公報
  
• 特開昭57-100127号公報
  
• 特開昭59-053526号公報
  
• 硬化性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-103561   出願人：味の素株式会社
• 特許第2746009号公報
  
• 特許第2707495号公報