特許
J-GLOBAL ID：200903018507904744
マルチワイヤソーによる切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333598
公開番号（公開出願番号）：特開平6-155450
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】【目的】一方向走行タイプのマルチワイヤソーにより反りのない高品質のウエハを能率よく切断できる手段を提供する。【構成】一方向走行タイプのマルチワイヤソーにおいて、被切断物の入側および出側のワイヤ列上に砥粒を含む加工液を供給する。被切断物出側のワイヤ列上に供給される加工液の溝ローラの回転によって発生する飛沫の温度を測定する。この飛沫の温度が一定になるように加工液の温度または流量、あるいは被切断物をワイヤ列に押付ける被切断物押上速度を制御する。【効果】ワイヤ列の発熱に伴う溝ローラの熱変形を抑制できるので、高精度切断が可能となる。被切断物押上速度をほとんど減少させることなく切断できるので、切断能率が高い。いかなる断面形状の被切断物に対しても有効である。
請求項（抜粋）：
所定ピッチのワイヤ案内溝を有する溝ローラ間に張設された多条ワイヤ列を一方向に走行せしめ、被切断物上あるいは被切断物入側、出側のワイヤ列上に砥粒を含む加工液を供給しつつ被切断物を該ワイヤ列上に押付けて研削作用によって多数のウエハに切断するマルチワイヤソーにおいて、被切断物出側のワイヤ列上に供給した加工液の溝ローラの回転によって発生する飛沫の温度が一定になるように制御しつつ切断することを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方法。
IPC (4件)：
B28D 5/00
, B24B 27/06
, B28D 1/22
, H01L 21/304 311
