ウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135955
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332097
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハを収納或いは搬送するウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法に関し、ウェーハが自重で反ることにより、ウェーハにクラックや割れが発生することを防止することを課題とする。【解決手段】背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハ12が収納されるウェーハ収納部13がキャリア本体部11内に設けられると共に、ウェーハ搬送アーム22がキャリア本体部11内に装着脱されることによりウェーハ12をウェーハ収納部13に装着脱する構成とされたウェーハ収納キャリアにおいて、ウェーハ収納部13を、ウェーハ12の少なくとも外周位置を支持する第1の支持部15と、ウェーハ12の少なくとも中央部分を支持する第2の支持部16とにより構成する。

請求項（抜粋）：

背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハが収納されるウェーハ収納部がキャリア本体内に設けられると共に、ウェーハ搬送機構が前記キャリア本体内に装着脱されることにより前記ウェーハを前記ウェーハ収納部に装着脱する構成とされたウェーハ収納キャリアにおいて、前記ウェーハ収納部を、少なくとも前記ウェーハの外周位置を支持する第1の支持部と、少なくとも前記ウェーハの中央部分を支持する第2の支持部とにより構成したことを特徴とするウェーハ収納キャリア。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 V , B65D 85/38 R

Fターム (20件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB03 , 3E096CA02 , 3E096DA05 , 3E096FA01 , 3E096FA03 , 3E096FA26 , 3E096FA27 , 3E096GA03 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031EA06 , 5F031EA19 , 5F031FA01 , 5F031FA11 , 5F031GA08 , 5F031GA51 , 5F031PA13 , 5F031PA18

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