特許

J-GLOBAL ID：200903018517634974

基板搬送装置及びそれを用いた露光装置

発明者： 浅見 隆之 ,  原 典彦 ,  青木 保夫 ,  楢木 剛 ,  柳原 政光 ,  西村 隆
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110664
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306972
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、基板を保持して搬送する基板搬送装置及びそれを用いた露光装置に関し、基板受け渡し動作における干渉事故を未然に防止できる基板搬送装置及びそれを用いた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】プレートPを保持するプレートロード搬送系9を移動させてプレートPを搬送する基板搬送装置であって、搬送路LP上をプレートロード搬送系9が干渉せずに移動可能か否かを非接触で検出するためにプレートロード搬送系9側に固定されてレーザ光を射出する受光部30と、搬送路LP端に固定された光電変換素子を有する送光部31とを備えている。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持部材を移動させて前記基板を搬送する基板搬送装置において、搬送路上を前記保持部材が干渉せずに移動可能か否かを非接触で検出する非接触干渉検出機構を有していることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (20件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031JA02 ,  5F031JA31 ,  5F031MA27 ,  5F031NA09 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CC08 ,  5F046CC09 ,  5F046CC13 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046DA09 ,  5F046DB05 ,  5F046DC04 ,  5F046DC10