特許

J-GLOBAL ID：200903018539545495

ドライエッチング装置およびドライエッチングの終点検出方法

発明者： 美濃 美子
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355790
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176851
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 透明基板上に形成された半導体膜等のドライエッチングの進行を、透明基板の裏面より監視して、ドライエッチングの終点を検出する。【解決手段】 反応室1内に上部電極2とそれに対向する下部電極3を有し、前記下部電極3上に、被エッチング材が形成された透明基板を載置し、上部電極2と下部電極3間に高周波電力によりプラズマ8を発生させ、被エッチング材をドライエッチングするドライエッチング装置15において、前記被エッチング材、前記透明基板、前記下部電極3に設けられた開口部3a・3aを介して反応室1内で発生するプラズマ光を反応室外に導く光導出部材5b・5bと、前記光導出部材5b・5bによって導かれたプラズマ光の光変化を検出する検出器9と、前記検出器9によって得られた検出結果により、ドライエッチングの終点を判定し、高周波電力を停止する判断部10と、を備える。

請求項（抜粋）：

反応室内に第1の電極とそれに対向する第2の電極を有し、前記第1の電極上に、被エッチング材が形成された透明基板を載置し、第1の電極と第2の電極間に高周波電力によりプラズマを発生させ、被エッチング材をドライエッチングするドライエッチング装置において、前記被エッチング材、前記透明基板、前記第1の電極を介して、反応室内で発生するプラズマ光を反応室外に導く光導出手段と、前記光導出手段によって導かれたプラズマ光の光変化を検出する検出手段と、前記検出手段によって得られた検出結果により、ドライエッチングの終点を判定し、高周波電力を停止する判断手段と、を備えることを特徴とするドライエッチング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  G01N 21/71

FI (4件)：

C23F 4/00 F ,  G01N 21/71 ,  H01L 21/302 E ,  H01L 21/302 C

Fターム (30件)：

2G043AA03 ,  2G043BA01 ,  2G043BA03 ,  2G043CA02 ,  2G043DA05 ,  2G043EA15 ,  2G043GA07 ,  2G043GA10 ,  2G043GB12 ,  2G043JA03 ,  2G043JA05 ,  2G043LA01 ,  2G043NA06 ,  4K057DA14 ,  4K057DB01 ,  4K057DB04 ,  4K057DB05 ,  4K057DD01 ,  4K057DJ03 ,  4K057DM03 ,  4K057DN01 ,  5F004AA09 ,  5F004BA04 ,  5F004CB16 ,  5F004DB00 ,  5F004DB02 ,  5F004DB03 ,  5F004DB09 ,  5F004DB10 ,  5F004EA01