特許
J-GLOBAL ID：200903018539632819
気相化学反応装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-001031
公開番号（公開出願番号）：特開平8-188495
出願日： 1995年01月09日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】気相化学反応装置の稼働率を向上させる。【構成】オリフィス板22の上に凝縮した原料の存在を検出する手段で原料の凝縮状況を監視し、この結果に基づき凝結した原料を除去する機構を動作させ凝結した原料の除去を真空容器5を大気開放せずに行う。これにより適切な時期に凝結した原料がオリフィス板22から除去されるため良好な成膜条件を維持する。
請求項（抜粋）：
真空容器と,前記真空容器内に配置されたサセプタと,前記サセプタ上に配置されたウェハと,前記サセプタの上に置かれた前記ウェハを過熱あるいは冷却するためのウェハ温度制御装置,前記ウェハに化学反応を発生させるための反応ガスを供給するためのシャワーヘッドと,前記シャワーヘッドに反応ガスを供給するためのガス供給部と,前記ガス供給部と前記シャワーヘッドを連結するためのガス供給配管と,前記真空容器内のガスを排気するための真空排気部と,前記真空容器と前記真空排気部とを連結する真空排気配管と,前記真空容器の圧力を調整するための圧力調整バルブと,前記ウエハを前記サセプタ上に搬出あるいは搬入するための搬送装置,前記ウェハを前記真空装置に搬入あるいは搬出するための予備室,前記真空容器で消費されなかった反応ガスを処理するためのガス処理部と,前記ガス処理部と前記真空排気部を連結するガス処理配管とからなる気相化学反応装置において、前記シャワーヘッドに凝縮した成膜原料を検出する機構及び除去する機構を設けたことを特徴とする気相化学反応装置。
IPC (4件)：
C30B 23/06
, C23C 14/24
, H01L 21/205
, H01L 21/31
