特許

J-GLOBAL ID：200903018543005454

位置検出装置

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217217
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083751
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 斜入射方式で被検面の位置を検出する際に、正確に位置検出できる範囲を広くする。【構成】 被検面に1本のスリット像を投影し、その被検面から反射される光束を集光して受光スリット板18A上に幅Dのスリット像25を再結像する。受光スリット板18A上に3本の幅Dの受光スリット21A〜21Cがx方向に幅Dだけずらして配置されている。スリット像25をx方向に幅Dで振動させた受光スリット21A〜21Cの背面にある光電変換素子23A〜23Cから出力される信号に基づいてスリット像25のx方向へのシフト量を求める。

請求項（抜粋）：

被検面上に斜め方向からスリット像を投影する投射光学系と、前記被検面からの反射光を受光して前記スリット像を再結像する受光光学系とを有し、該受光光学系により再結像されるスリット像の横ずれ量に基づいて前記被検面の位置を検出する装置において、前記受光光学系により再結像されるスリット像の形成面上に、該スリット像の長手方向に直交する計測方向に該スリット像の幅以下の間隔で配置され、それぞれ前記再結像されるスリット像の長手方向に沿った細長い受光面を有する複数の光電変換素子と、前記再結像されるスリット像と前記複数の光電変換素子とを前記再結像されるスリット像の長手方向に直交する計測方向に相対的に振動させる相対振動手段と、を備え、前記複数の光電変換素子の検出信号をそれぞれ前記相対振動手段の動作に同期してサンプリングして得られる信号に基づいて、前記再結像されるスリット像の横ずれ量を求めることを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G02B 7/28

FI (2件)：

H01L 21/30 526 B ,  G02B 7/11 M