特許
J-GLOBAL ID：200903018545329800
導電性金属酸化物焼結体及びその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100869
公開番号（公開出願番号）：特開平10-269843
出願日： 1989年06月13日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 導電性において極めて優れた性能を持つ透明導電性膜及びそのような透明導電性膜を形成することが可能なスパッタリングターゲット及び該スパッタリングターゲットの形成に用いられる金属酸化物焼結体を提供する。【解決手段】 少なくともハフニウムをドーパントの一部として含有する酸化インジウムからなる金属酸化物焼結体を用いたスパッタリングターゲットを用いて透明導電性膜を形成する。
請求項（抜粋）：
ハフニウム成分を酸化物換算で0.1wt%以上5wt%以下含む酸化インジウムを主成分とする導電性金属酸化物焼結体。
IPC (5件)：
H01B 1/08
, C04B 35/495
, C23C 14/08
, C23C 14/34
, H01B 5/14
H01B 1/08
, C23C 14/08 D
, C23C 14/34 A
, H01B 5/14 A
, C04B 35/00 J
