特許
J-GLOBAL ID:200903018546604170

IC試験装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-060325
公開番号(公開出願番号):特開平6-273488
出願日: 1993年03月19日
公開日(公表日): 1994年09月30日
要約:
【要約】【目的】 アナログ部1の発生器や測定器及びアナログインターフェース部(PEC)の種類を減らして、設計工数の縮減と、製造・管理の簡素化を図る。【構成】 任意波形発生器(WG)2及び波形測定器(WM)3は高精度用、汎用及び高速用のものがそれぞれ1つに統合化され、1:1に対応するアナログPECに接続される。n個のアナログPEC7は1種類に共通化されており、アナログ出力ピン29と、同ピン29をWG2に接続するスイッチSW1 と、アナログ入力ピン30と、同ピン30をWM3に接続するSW2 と、アナログI/Oピン31と、同ピン31をRF信号発生器4、時間測定器5及びDC測定器6のいずれかにそれぞれ接続するSW3 ,SW4 ,SW5 とが実装される。またPECには必要に応じアナログI/Oピン31をWG2及びWM3の一方にそれぞれ接続するSW6 ,SW7 や、較正用のSW8 がそれぞれ実装される。
請求項(抜粋):
任意波形発生器及び波形測定器がそれぞれn(2以上の整数)個と、RF信号発生器、時間測定器及びDC測定器がそれぞれ少くとも1個とより成るアナログ部と、各n個の前記任意波形発生器及び波形測定器にそれぞれ1:1に対応し、共通のDUT(device under test)ボードとインターフェースするn個のアナログインターフェース部(ピン・エレクトロニックス・カード)と、前記アナログ部及びアナログインターフェース部を制御する制御部とを有するIC試験装置であって、前記任意波形発生器及び波形測定器は、前記制御部により制御されて、高精度試験、汎用試験及び高速試験のいずれにも対応できるものであり、前記アナログインターフェース部は、第1スイッチと、その第1スイッチを介して対応する1個の前記任意波形発生器に接続される出力ピンと、第2スイッチと、その第2スイッチを介して対応する1個の前記波形測定器に接続される入力ピンと、第3、第4及び第5スイッチと、それら第3、第4及び第5スイッチをそれぞれ介して前記RF信号発生器、時間測定器又はDC測定器のいずれかに接続される共通のアナログI/Oピンとを有するものであることを特徴とする、IC試験装置。
FI (2件):
G01R 31/28 H ,  G01R 31/28 C

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