特許
J-GLOBAL ID：200903018550793085
ファンフィルタユニット及びクリーンルーム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060156
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243682
出願日： 1994年03月03日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルームの天井部などに使用される個々のファンフィルタユニットのモータの状態を常時監視し、異常があった場合には直ちに外部に知らせるシステムを容易に構築する。【構成】 ファンを駆動させるファンモータ15に振動加速度センサ41を設ける。この振動加速度センサ41の信号は適宜演算処理され、所定の値を越えた場合には、直ちにターミナルユニット32から、遠隔の制御監視装置へと警報信号が出力される。警報信号を伝達するには、既設の制御系の信号伝達経路を用いることができ、別途専用の配線工事を外部に施工する必要はない。
請求項（抜粋）：
吸込口と吹出し口を有し、モータによって駆動されるファンの作用により、前記吸込口から吸い込まれた空気をフィルタを介して前記吹出し口から供給する如く構成されたファンフィルタユニットにおいて、前記モータに、モータの振動を検出する振動加速度センサを設け、さらにモータを遠隔から制御や監視するために遠隔に配置された制御装置と、前記制御装置と前記モータとを結ぶ信号伝達系によって、振動加速度センサからの検出信号が搬送される如く構成したことを特徴とする、ファンフィルタユニット。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, B01D 46/42
, B01D 46/52
