特許
J-GLOBAL ID：200903018569877239

圧電振動片、圧電振動片の周波数調整方法

発明者：
藤井 智

藤井 智 について


出願人/特許権者：
株式会社大真空

株式会社大真空 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061247
公開番号（公開出願番号）：特開2007-243435
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】 ドライエッチングにより周波数調整する場合に、マスクずれの影響をなくし、圧電振動子の電気的特性の高性能化や高安定化が実現できるより信頼性の高い圧電振動片、および圧電振動片の周波数調整方法を提供する。【解決手段】 基部20と、この基部から突出された複数の脚部21,22とからなり、各脚部には、脚部主面の先端部に形成された周波数調整膜25,26と、脚部に形成された励振電極23,24とを具備しており、前記周波数調整膜の表面材質に対して前記励振電極の表面材質の方がドライエッチングによる除去レートの低い材料で形成されてなる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基部と、この基部から突出された複数の脚部とからなる圧電振動片において、 各脚部には、 脚部主面の先端部に形成された周波数調整膜と、脚部に形成された励振電極とを具備しており、 前記周波数調整膜の表面材質に対して前記励振電極の表面材質の方がドライエッチングによる除去レートの低い材料で形成されてなることを特徴とする圧電振動片。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (5件)：
H03H9/19 J ,  H03H3/04 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A
Fターム (15件)：
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108HH03 ,  5J108HH04 ,  5J108HH06 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07 ,  5J108NB05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
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