特許
J-GLOBAL ID：200903018574124761
超音波洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168729
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019666
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【課題】この発明は装置本体の空間部に供給された洗浄液を所定の圧力に維持できるようにした超音波洗浄装置を提供することにある。【解決手段】 被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を付与するための超音波洗浄装置において、装置本体11と、この装置本体の一側面に開口して形成され内部に供給された上記洗浄液を上記開口から流出させる空間部18と、上記装置本体に上記空間部に供給された上記洗浄液と接触する状態で設けられ上記洗浄液に超音波振動を付与する振動子24が付着された振動板21と、上記装置本体に設けられ上記空間部に供給された洗浄液が所定の圧力以上になったときに上記洗浄液の一部を逃して上記空間部内を所定の圧力に保持する逆止弁34とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を付与するための超音波洗浄装置において、装置本体と、この装置本体の一側面に開口して形成され内部に供給された上記洗浄液を上記開口から流出させる空間部と、上記装置本体に上記空間部に供給された上記洗浄液と接触する状態で設けられ上記洗浄液に超音波振動を付与する振動子が付着された振動板と、上記装置本体に設けられ上記空間部に供給された洗浄液が所定の圧力以上になったときに上記洗浄液の一部を逃して上記空間部内を所定の圧力に保持する圧力調整手段とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 3/12
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
B08B 3/12 B
, H01L 21/304 341 T
, H01L 21/304 341 M
