ガス成分濃度計測方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-316604
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146840
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】多成分が混在する試料ガス中に微量濃度含まれている物質の濃度を正確に測定するガス成分濃度計測方法を提供する。【解決手段】被測定分子を含む104 Paから大気圧以上に加圧された試料ガス2を1ミリPa以下に減圧された真空チャンバ1内に噴射し、分子ビームジェット5を形成することにより試料分子の回転振動温度を数10K程度以下に冷却し、被測定分子の吸収波長の中で共存する分子の吸収波長と充分に分離可能な波長を持つ励起光6aを分子ビームジェット5中の測定場に対して照射し、この励起光の照射により測定場に誘起された蛍光強度を計測することにより、測定場に存在する被測定分子の濃度を判定する。

請求項（抜粋）：

被測定分子を含む104 Paから大気圧以上に加圧された試料ガスを1ミリPa以下に減圧された真空チャンバ内に噴射し、分子ビームジェットを形成することにより試料分子の回転振動温度を数10K程度以下に冷却し、上記被測定分子の吸収波長の中で共存する分子の吸収波長と充分に分離可能な波長を持つ励起光を上記分子ビームジェット中の測定場に対して照射し、この励起光の照射により上記測定場に誘起された蛍光強度を計測することにより、上記測定場に存在する上記被測定分子の濃度を判定することを特徴とするガス成分濃度計測方法。

IPC (3件)：

G01N 21/64 , G01N 1/02 , G01N 1/28

FI (3件)：

G01N 21/64 Z , G01N 1/02 A , G01N 1/28 K

Fターム (22件)：

2G043AA01 , 2G043BA14 , 2G043CA01 , 2G043DA01 , 2G043DA05 , 2G043DA08 , 2G043EA01 , 2G043FA06 , 2G043GA02 , 2G043GA07 , 2G043GB03 , 2G043GB07 , 2G043GB28 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043MA01 , 2G043NA01 , 2G043NA11 , 2G043NA13

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