特許

J-GLOBAL ID：200903018574590142

インクジエツトヘツド

発明者： 細貝 耕三 ,  森 豊 ,  小竹 直志 ,  弥勒 美彦 ,  池田 宏 ,  片岡 雅樹 ,  田端 伸司 ,  三鍋 治郎 ,  三澤 誠 ,  小泉 幸久
出願人/特許権者： 富士ゼロツクス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-336125
公開番号（公開出願番号）：特開平5-147211
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 インクジェットヘッドにおいて、Pがドープされた絶縁膜の腐食の問題を回避できるノズルの構造を実現する。【構成】 チャネルウェハ10は、Siウェハ11を用い、チャネル部13とインクリザーバ14とが異方性エッチングにより形成される。ヒーターウェハ20は、Siウェハ21の上に蓄熱層絶縁膜22、ヒーター23、保護層24,25、共通電極26、個別電極27、層間絶縁膜28が形成され、保護絶縁膜29が形成される。Pを含む層間絶縁膜28と保護絶縁膜29は、これら2枚のウェハの接着後の切断位置15であるノズル面から露出しないように、切断位置15の内側が終端となるように形成されているから、これらの絶縁膜がインクによる腐食を受けることはない。

請求項（抜粋）：

2枚の基板を接合して構成され、個々のチップに切断された切断面がインク吐出のノズル面として用いられるインクジェットヘッドにおいて、リンを含む保護膜の少なくとも1層がノズル面より後退して形成されたことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-099334
  
• 特開昭64-087265
  
• 特開昭61-098552