特許

J-GLOBAL ID：200903018577602508

透過性評価方法及びその装置

発明者： 鬼頭 英至
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164647
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357533
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 膜の透過性評価において、測定感度の大幅な向上を図ることができる透過性評価方法及びその装置を提供する。【解決手段】 透過性評価装置10は、被測定膜36を取り付けたサンプル台30を境として、チャンバ12が恒温恒湿槽14と真空槽16とに分かれた構成となっている。恒温恒湿槽14は、調湿機構40により所定の湿度に調整された窒素雰囲気となっており、真空槽16は、排気系により真空排気されて、100Pa以下の真空状態となっている。サンプル台30は、透湿度などが既知である基材32によってディスク状に形成されており、その略中心部以外が耐水性のある保護膜34で覆われている。これにより、被測定膜36を透過した成分のみが真空槽16側に透過し、質量分析計58で検出される。

請求項（抜粋）：

成分導入槽と真空槽を有するチャンバに被測定膜を設置して、該被測定膜の透過成分に関する評価を行う透過性評価方法であって、前記被測定膜をサンプル台で支持して、前記成分導入槽と前記真空槽の堺に設置するステップと、前記成分導入槽を、評価対象成分を含む雰囲気とするステップと、前記真空槽を真空雰囲気とするステップと、前記真空槽において、前記被測定膜の前記成分導入槽側から前記真空槽側へ透過した透過成分を質量分析するステップと、を含むことを特徴とする透過性評価方法。