特許
J-GLOBAL ID:200903018592100357

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-243190
公開番号(公開出願番号):特開平7-098358
出願日: 1993年09月29日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 この発明は、バーンインテストを行う装置の小型化及び一度に多くの半導体装置のバーンインテストを可能とする半導体装置を提供することを目的とする。【構成】 この発明は、バーンインテスト時に自己発振して被テスト回路となる内部組み合わせ回路5,6,7に活性化信号を自己供給するスキャンF/F1〜4からなる活性化信号供給回路を備えて構成される。
請求項(抜粋):
バーンインテスト時に自己発振して被テスト回路に活性化信号を連続的に自己供給する活性化信号供給回路を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
G01R 31/28 ,  H01L 21/66

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