特許

J-GLOBAL ID：200903018593038019

固体撮像装置

発明者： 石田 知久
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-273481
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092809
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 増幅部の1つの出力領域の寄生抵抗を低減しその抵抗の画素ごとのばらつきを抑え、しかも開口率を高くする。【解決手段】 各画素が、入射光に応じた信号電荷を生成する埋め込みフォトダイオードと、当該画素ごとに設けられ前記信号電荷に応じた増幅出力を生じるMISSITとを有する。各画素において、埋め込みフォトダイオードの受光領域における表面層9、及び、MISSITの1つの出力領域であるドレイン領域5,6が、互いに同電位となるように形成される。埋め込みフォトダイオードにより光電変換されるべき光の波長に関して透明である透明導電膜12が、各画素の表面層9の表面と接触して各画素の表面層9を電気的に共通接続するように、積層される。

請求項（抜粋）：

同一半導体基板上に複数の画素を有し、各画素が、入射光に応じた信号電荷を生成する光電変換部と、当該画素ごとに設けられ又は他の画素と共有される増幅部であって、前記信号電荷に応じた増幅出力を生じる増幅部と、を有し、前記増幅部が全体として複数存在し、前記各画素において、前記光電変換部の受光領域における表面層、及び、前記増幅部の1つの出力領域が、互いに同電位となるように形成された、固体撮像装置において、前記光電変換部により光電変換されるべき光の波長に関して透明である透明導電膜が、前記各画素の前記光電変換部の前記表面層の表面と接触して前記各画素の前記光電変換部の前記表面層を電気的に共通接続するように、積層された、ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

H01L 27/14 A ,  H04N 5/335 U ,  H04N 9/07 A ,  H01L 27/14 D