特許
J-GLOBAL ID：200903018599680014
変位素子、及びこれを用いた検出素子、及びこの検出素子を用いた走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070128
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231815
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡及び情報処理装置に用いられる高速走査が可能な変位素子、検出素子を提供する。【構成】 Si基板上に圧電体膜と一対の電極からなる両持ち梁状変位素子と、静電駆動用電極とを複数一体形成した検出素子では、従来のカンチレバー状変位素子よりも剛性が高く、かつ、素子の膜厚方向と、Si基板面内方向の同時駆動が可能であり、高速の走査が行える。また、内部応力による反りを低減した信頼性の高い素子となり、これを用いたSTM,AFM,情報処理装置では、再現性よく、安定にかつ、高速な動作を行う。
請求項（抜粋）：
圧電体膜と、該圧電体膜を逆圧電効果により変位させるための電極とを有す変位素子であって、該素子がSi基板上に自由端部を有しないように形成され、該Si基板面内方向に変位することを特徴とする変位素子。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01L 41/09
