X線分光器およびX線分光素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-240739
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072298
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 X線を分光する際の強度の低下を防止して、回折X線の強度を強くしうるX線分光素子を提供する。【構成】 1枚の基板12の表面12s1 〜12sn に人工多層膜格子1a1 〜1an を有し、入射したX線B1を反射面で回折して単色化する。上記反射面の縦断面がノコ歯状で互いに不連続な多数の単位面1s1 〜1sn で形成され、かつ、任意のi番目の単位面1si を形成する人工多層膜格子1ai の格子面間隔の周期di が、(i+1)番目の単位面1si+1 を形成する人工多層膜格子1ai+1 の格子面間隔の周期di+1 よりも大きく設定されていることで、各人工多層膜格子1a1 〜1an が同一の波長のX線B1を回折するように設定されている。

請求項（抜粋）：

X線源と、このX線源から入射したX線を人工多層膜格子の反射面で回折して単色化するX線分光素子とを備えたX線分光器において、上記X線分光素子がX線源から遠ざかる方向に複数個設けられているとともに、これらのX線分光素子の反射面が、互いに不連続な面に沿って配設され、上記X線分光素子の格子面間隔の周期が、上記X線源から遠いX線分光素子ほど大きく設定されていることで、各X線分光素子が同一の波長のX線を回折するように設定されていることを特徴とするX線分光器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-270647
特開昭63-111500

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