光偏向装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061645
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270700
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】小型軽量化が可能で安価な光偏向装置を提供する。【構成】光偏向装置はトーションバー2を有する。このトーションバー2の一端は固定部4に剛性固定され、他端にはミラー6が設けられている。トーションバー2は、その延在方向に沿った二等分線10により仮想的に二分割されている。各々の仮想分割片には、上部及び下部駆動電極に挟まれた圧電部材が設けられることにより、捩じり駆動部8として形成されている。このねじり駆動部8は、トーションバー2の平面上の法線方向がなす垂直な仮想平面10′の両側で互いに逆方向に変位可能である。このねじり駆動部8の変位運動により、矢印12で示すようにミラー6が回動軸10を中心として回転往復運動することにより、光偏向装置としての機能が達成される。

請求項（抜粋）：

ミラーを回動軸の回りに変位駆動させ、前記ミラーからの反射光を偏向させる光偏向装置であって、弾性固定された固定端と前記ミラーを支持する自由端とを有する板状の変位素子を備え、この変位素子は、弾性変形板と、一対の板状の駆動電極に挟持され、前記変位素子の板面の法線方向に分極した圧電部材を含み、前記弾性変形板の少なくとも一面に接合された圧電駆動板とからなり、前記変位素子は、回動軸及び法線方向に沿って延在するように規定された仮想平面を境として互いに逆方向に変位可能に構成したことを特徴とする光偏向装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 101 , G02F 1/01

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平1-276114
特開平4-211217
特開平2-094578

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