特許
J-GLOBAL ID：200903018613774094

圧電振動片の製造方法、圧電振動片

発明者：
小林 博文

小林 博文 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-189515
公開番号（公開出願番号）：特開2007-013383
出願日： 2005年06月29日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】 垂直な断面形状と正確な平面形状を有し、高精度な周波数を実現する水晶振動片と、この水晶振動片を実現する生産効率が高い製造方法を提供する。【解決手段】 水晶振動片10は、振動腕12の表裏両面に溝13を穿設し、水晶振動片10の外形周縁部14,15の断面方向の一部を残して形成するドライエッチング加工工程と、この加工工程の後に、水晶振動片10の外形周縁部14,15の断面方向の一部を除去して外形形状を形成するウエットエッチング加工工程と、を含む。また、水晶振動片10は、上述のように製造され、且つ、低コストで、高精度な共振周波数を有し、小型化、高周波化を可能とする水晶振動片10を実現する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
圧電材料からなる基板から圧電振動片を分離形成する圧電振動片の製造方法であって、 前記圧電振動片を構成する振動腕の主面の表裏両面それぞれに設けられる溝を穿設する工程と、 前記圧電振動片の外形形状を表裏両面から形成する工程と、を含み、 少なくとも前記溝を穿設する手段が、ドライエッチング加工であることを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (5件)：
H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
H03H3/02 D ,  H03H9/19 J ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (9件)：
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108MM15 ,  5J108NA03
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 水晶振動子の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-047645   出願人：シチズン時計株式会社
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-254351   出願人：松下電器産業株式会社

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