特許
J-GLOBAL ID：200903018628302911
ウエハの座標合せ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-093901
公開番号（公開出願番号）：特開平11-267970
出願日： 1998年03月24日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ウエハの肉厚分布、酸化皮膜の膜厚分布の測定を可能とするウエハの座標合せ装置の提供。【解決手段】 作業テーブル34の軸心Oと軸心を同じくして載置されたウエハAの高さ位置と同じ高さ位置に、作業テーブルと離して設けられた距離測定機器36とウエハの軸心を結ぶ線上にウエハの外縁が交叉する点の位置の座標X,Y,Zと、交叉する点から距離測定機器36までの距離の報告を受けて、該距離の値が最大値となる座標位置に距離測定機器とウエハの軸心を結ぶ線上にウエハの切り取り辺の中間点が位置するよう回転軸32の回転角度Mを算出する演算機構と、演算機構の算出した回転角度の分だけ回転軸を回転させる指示を発する制御機構と、制御機構の指示を受け回転軸を回動させる駆動機構と、ウエハの肉厚測定機構38またはウエハの酸化皮膜の膜厚測定機構37と、を備えるウエハの座標合せ装置。
請求項（抜粋）：
(1)回転軸に軸承され、この回転軸の軸心の鉛直方向に軸心を有する水平方向に回転可能な円筒状作業テーブル、(2)該作業テーブルに、作業テーブルの軸心と軸心を同じくして載置されたウエハの高さ位置と同じ高さ位置に、作業テーブルと離して設けられた距離測定機器、(3)前記距離測定機器より、(i)距離測定機器とウエハの軸心を結ぶ線上にウエハの外縁が交叉する点の位置の座標(X,Y,Z)と、(ii)該交叉する点から距離測定機器までの距離lの報告を受けて、該距離lの値が最大値となる座標位置に距離測定機器とウエハの軸心を結ぶ線上にウエハの切り取り辺の中間点が位置するよう回転軸の回転角度を算出する演算機構、(4)前記演算機構の算出した回転角度の分だけ回転軸を回転させる指示を発する制御機構、および(5)制御機構の指示を受け回転軸を回動させる駆動機構、を備えるウエハの座標合せ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 49/02 Z
, B24B 49/12
